Paineantureita käytetään nesteiden ja kaasujen paineen mittaamiseen. Yleisiä tyyppejä ovat MEMS-pii pietsoresistiiviset paineanturit, MEMS-piiresonanssipaineanturit, keraamiset kapasitiiviset paineanturit, metallikapasitiiviset paineanturit, sputteroidut ohutkalvopaineanturit ja metallisen venymämittarin paineanturit. Niiden toimintaskenaariot vaihtelevat toimintaperiaatteen mukaan.
MEMS-pii pietsoresistiivinen paineanturi:Tämä on yleisimmin käytetty paineanturityyppi. Sen päämittausalue kattaa 15 kPa - 100 MPa, ja tyypillinen tarkkuus vaihtelee välillä 0,05 % FS - 3 % FS. Käyttölämpötila-alue on tyypillisesti -55 - 180 astetta. Koska se on yhteensopiva laajamittaisten puolijohteiden valmistusprosessien kanssa, se on edullinen. Nesteen mittaamiseen tarvitaan öljytäytteinen eristyspakkaus.
MEMS-piiresonanssipaineanturi: Tämä anturi käyttää nerokasta suunnittelua, joka muuntaa paineen muutokseksi mikrosäteen resonanssitaajuudessa. Koska säteen taajuus riippuu vain sen rakenteesta ja lämpötilasta ja hyötyy suodatusvaikutuksista, tämä anturi saavuttaa korkean lähtötarkkuuden, jopa 0,01 % FS. Sen pääpaineen mittausalue kattaa 100 kPa - 40 MPa ja käyttölämpötila-alue -55 astetta - 85 astetta. Monimutkaisen valmistuksen ja korkeiden kustannusten ansiosta se soveltuu erittäin korkeaa tarkkuutta vaativiin sovelluksiin, kuten puolijohdekäsittelyyn ja valtameren syvyyden mittaukseen.
Keraaminen kapasitiivinen paineanturi:Keraaminen materiaali tarjoaa erinomaisen kulutuskestävyyden, joten tämä anturi sopii paineen mittaamiseen hiekka-liete-seoksissa. Se tarjoaa myös hyvän korroosionkestävyyden, mikä mahdollistaa syövyttävien nesteiden, kuten rikkihapon, mittaamisen. Lisäksi keraamiset paineanturit kestävät veden jäätymistä - ominaisuus ei ole saavutettavissa MEMS-antureilla.
Metallikapasitiivinen paineanturi:Tämä anturi käyttää metallikalvoa paineherkänä liikkuvana elektrodina, joka muodostaa kondensaattorin kiinteällä elektrodilla. Kun paine vaikuttaa kalvoon, elektrodien välinen kapasitanssi muuttuu, mikä muodostaa paineen ja kapasitanssin suhteen. Metallikalvot voidaan valmistaa korroosionkestävistä materiaaleista, kuten Inconel, ja ne voivat mitata erittäin alhaisia paineita (0–1/10/100/1000 Torr). Näin ollen sillä on laajat sovellukset alipainemittauksissa ja erikoiskaasumittauksissa puolijohdeteollisuudessa.
SputteredThin-elokuvaPaineanturi ja metallisen venymämittarin paineanturi:Molemmissa antureissa on voimaherkkä materiaali, joka on päällystetty suurella metallipinnalla, mikä tekee tuotteesta vankan ja kestävän. Ne soveltuvat korkeapainealueille ja korkeaa luotettavuutta vaativiin sovelluksiin, kuten keltaiset tavarat, dieselmoottorit ja tunnelinporauskoneet. Näitä antureita ei ole helppo valmistaa absoluuttiseksi paineanturiksi, ja ne voivat tyypillisesti kattaa maksimialueet aina 200 MPa:iin asti. Yllä olevassa ensimmäisessä kuvassa näkyy sputteroitu ohutkalvoanturin ydin, kun taas toisessa kuvassa on metallinen venymämittariydin.
Paineanturin valinnan on perustuttava todellisiin käyttöolosuhteisiin, jotta sen suorituskykyä voidaan hyödyntää täysimääräisesti. Mihui Technology on erikoistunut erilaisiin periaatteisiin perustuviin paineantureihin, jotka tarjoavat täydelliset suunnittelu-, tuotanto- ja valmistusominaisuudet tarjotakseen asiakkaille sopivimmat ratkaisut. Tervetuloa ottamaan yhteyttä, jos olet kiinnostunut:Puhelinnumero: +8618066965135; Sähköposti: mihuitec@gmail.com
